Собибор как конвейер смерти заработал 3 мая 1942 года. Почти одновременно с Собибором появились и другие лагеря смерти: Белжец (в марте) и Треблинка (в июле). Вместе с Хелмно (действовал с 8 декабря 1941 года) все они стали основными лагерями смерти, в которых нацисты уничтожили более трети европейского еврейства. Создание таких лагерей осуществлялось в рамках операции «Рейнхард» и было одним из ключевых итогов конференции в Ванзее (20 января 1942 года), когда высшие чины партии и СС утвердили основные принципы «окончательного решения» еврейского вопроса.

Стоит подчеркнуть разницу между концентрационными лагерями (Равенсбрюк, Маутхаузен, Дахау), где заключенные должны были работать на нацистов, и лагерями смерти, в которых людей только уничтожали. Освенцим (Аушвиц) и Майданек функционировали и как концентрационные лагеря, и как лагеря смерти. Последних было всего шесть (Хелмно, Собибор, Треблинка, Белжец, Освенцим и Майданек). Под конец войны де-факто как лагеря смерти стали работать Маутхаузен и Штутгоф. Показательно, что в Хелмно были уничтожены 360 тысяч евреев, а выжили только двое. В Белжеце уничтожили 600 тысяч, выжили шесть человек. В результате об этих лагерях мало что известно.

В Собиборе уничтожили около 250 тысяч человек, выжили благодаря побегу Печерского – 53.

После восстания и побега лагерь был немедленно закрыт и снесен по приказу Гиммлера.

19 октября официально была завершена операция «Рейнхард» – программа по уничтожению евреев. Ее руководитель генерал Одило Глобочник докладывал, что на ее проведение затратили 12 миллионов рейхсмарок, а общая прибыль составила 179 миллионов рейхсмарок. Личный состав был награжден военными орденами, а руководство было переброшено в оккупированную Италию для уничтожения местных евреев. Поскольку верхушка СС понимала, что война фактически проиграна, то всех основных участников направляли в районы наиболее опасные из-за партизанского движения. Многие чины СС, ответственные за убийства в Собиборе, погибли.

После войны бывшие руководители и охранники пытались бежать или скрыться, со временем их арестовывали. Так, в 1965–1966 годах в Гааге прошел крупный процесс над 12 охранниками СС из Собибора. Только один, фельдфебель Карл Френцель, был приговорен к пожизненному заключению, еще четыре – к разным срокам (от 3 до 8 лет), остальные оправданы. И только один из 12 признал свою вину. Комендант капитан Франц Штангель, который дольше всех возглавлял Собибор, сумел бежать в Бразилию вместе с фельдфебелем Густавом Вагнером (в Собиборе он фактически командовал всем сержантским составом, отличался особой жестокостью). Штангеля арестовали в 1967 году, он умер в тюрьме от сердечного приступа, а вот Вагнера выдать отказались. В 1980 году он покончил с собой.

Наиболее активно с пособниками нацистов боролись в СССР. В 1962 году в Киеве состоялся закрытый процесс над одиннадцатью украинцами, которые служили в охране. Их всех приговорили к расстрелу.